產品信息
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產品信息
標準低溫泵16型
CRYO-U16
特征
- Suitable for medium and large-size equipments.
- Suitable for batch type large deposition systems.
- Resistant to thermal load.
外形尺寸（單位：mm）
標準規(guī)格
| 排氣速度（20℃） | 氮氣 | L/s | 5,000 |
| 氫氣 | 10,000 | ||
| 氬氣 | 4,200 | ||
| 水 | 16,000 | ||
| 極限壓力 | Pa(Torr) | 10-7(10-9) | |
| 最大流量 | 氬氣 | Pa?L/s(Torr?L/s) | 1.4×103(11.0) |
| 氫氣 | 4.1×102(3.1) | ||
| 排氣量 | 氬氣 | Pa?L(Torr?L) | 4.3×108(3.3×106) |
| 氫氣 | 2.4×106(1.8×104) | ||
| 冷卻下降時間 | min(Hz) | 110/100(50/60) | |
| 吸氣口法蘭 | UVG-400 | ||
| 壓縮機裝置 | C30VR | ||
| 重量 | kg | 61.0 | |
Wide Variety of Models, ranging from 6" diameter to 30" diameter.
*保養(yǎng)周期：16,000小時
