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[クライオポンプの技術(shù)情報(bào) 1 ]
代替フロン系コールドトラップに替わるヘリウム冷凍機(jī)を用いた極低溫トラップを発売
2000年10月27日
-業(yè)界初、10分以內(nèi)に冷卻、昇溫が可能-
代替フロン系コールドトラップに替わる
ヘリウム冷凍機(jī)を用いた極低溫トラップを発売
このたびフロン系コールドトラップに替わるヘリウム冷凍機(jī)を用いた極低溫スーパートラップ（スピードシリーズ TS 型、水分子に対する排気速度10,000～100,000L/s）の販売を開始いたしました。
バッチ式の真空裝置や光學(xué)用の成膜裝置では、真空排気時(shí)と蒸著時(shí)に基板などから放出される水を効率よく排気するために、蒸著室內(nèi)または主バルブと蒸著室の間の排気ラインに極低溫面を配置し、排気時(shí)間の短縮や水分の分圧の低減を図っています。
真空蒸著は、ミラー、ラジエター、ハンドル、スイッチなどの自動(dòng)車部品や、メガネ、時(shí)計(jì)カバー、カメラなどの高額精密部品、化粧品容器や裝飾品などの生活用品にいたるまで応用されており、それらの蒸著を行うばあいには、大量の水分子が生じるため、代替フロン系のコールドトラップが使用されています。
ところで、代替フロン（HFC）は、オゾン層を破壊しないと言われているものの、CO2の數(shù)百萬(wàn)から1萬(wàn)數(shù)千倍もの溫室効果があるといわれています。地球溫暖化防止京都會(huì)議での焦點(diǎn)ともなっていました。
今回販売する製品に使われるヘリウムガスは、オゾン層や地球溫暖化係數(shù)が0で環(huán)境に問(wèn)題がありません。
これまでヘリウムガスを使用した小型冷凍機(jī)では、フロン系のコールドトラップのように短時(shí)間で冷卻することが技術(shù)的に困難でしたが、今回、大型の冷凍機(jī)の開発に成功したため、代替フロン系コールドトラップに代わる地球環(huán)境にやさしいトラップが商品化されました。
今回発売いたしました TS 型は、これまでの代替フロン系コールドトラップ以上の性能に設(shè)計(jì)されており、100K（ケルビン）～130K 以下の溫度に到達(dá)できます。従來(lái)は、できなかった10分以內(nèi)に冷卻、昇溫が各々完了することができる畫期的なものです。
しかも、代々フロン系コールドトラップで、使用されるコンプレッサーに比べ、TS型トラップのコンプレッサーは、小型軽量で、設(shè)置場(chǎng)所にも制限がありません。また、冷媒の配管は、斷熱の必要がなく、結(jié)露の心配もなくなりました。しかも、標(biāo)準(zhǔn)納期は、1.5ヶ月と短く、低価格な點(diǎn)も大きなメリットです。
また、サービス體制は、アルバックの全國(guó)サービスネットワークが利用でき、韓國(guó)、臺(tái)灣等海外へも拡充する予定です。
また、すでにお使いの代替フロン系コールドトラップはばかりでなく、液體窒素トラップとの置き換えも容易です。
重要技術(shù)に関しては、特許出願(yuàn)中です。
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